構成

講師
松本佳宣
M1
中園晃充

研究成果

本年度は、慶應大学に転任してきて一年目であるため、研究内容は以前の大学で行ってきたテーマを継続してそれを論文や学会等で報告した。また、研究室の研究設備の整備を学事振興資金や物理情報工学科研究助成金等を利用して行い、センサ・マイクロマシンと集積回路のシミュレーション環境の整備、ホトリソグラフィ技術を用いた微細加工の整備を行った。また、新規テーマとして光トランシーバ等の調査、立ち上げを行った。

発表論文

論文

  • Y. Matsumoto, M. Nishimura, M. Matsuura, M. Ishida: “Three-axis SOI capacitive accelerometer with PLL C-V converter”, Sensors and Actuators A, Vol.75, pp.77-85, (1999)

口頭発表

  • Y. Matsumoto and M. Ishida:”The property of plasma polymerized fluorocarbon film in relation to CH4/C4F8 ratio and substrate temperature”, Tech. Digest of 1997 international conference on solid-state sensors and actuators, pp.34-37,(1999).

学位論文

なし（学生不在）

進路

なし（学生不在）

受賞

財団法人安藤研究所・第１２回安藤博記念学術奨励賞，「SOI構造を用いたセンサと 集積回路に関する研究」

研究助成

平成11年度科研費奨励研究(A)　「マクロマシンにおける付着・摩擦低減に関する研究」