構成
- 講師
- 松本佳宣
- 修士２年
- 中園晃充
- 学部４年
- 中丸文雄、角篤司、阿波谷佳朗、北原太介、鹿又学、三浦淳平、青山真之 、仲谷泰文
研究成果
プラスチック光ファイバー用光トランシーバの研究
プラスチック光ファイバー用に新規光トランシーバを設計、製作してその特性を評価した。サンドブラスト法を用いてガラス基板にテーパー状の穴を作製して、さらにその中に反射膜を形成することで凹面鏡の原理で効率よく集光を行った。この穴は、 ファイバーのセルフアライメント機構の役割も兼ねており光トランシーバとファイバーの接続性を向上させている。このトランシーバ用に専用PINフォトダイオードを設計、試作して評価したところ、市販のボールレンズ型フォトダイオードより20%大き い光電流が得られ最高水準の集光効率を有していることが確認できた。さらに、トランスインピーダンスアンプと組み合わせEye patternを測定した結果1Gbps以上の伝送速度を有している事が確認できた。
マイクロマシニング技術を用いた微小工学部品の研究
シリコンマイクロマシニング技術の整備、立ち上げを行い、異方性エッチング技術やフォトリソグラフィ技術、グレースケールマスク製作技術を確立した。これらの技術を応用した45°ミラー、３次元構造体、微小光学部品などの研究を行った。
CMOS集積回路の研究
東京大学大規模集積回路センター（VDEC）を利用して0.6ミクロンCMOS技術で、演算増幅器、トランスインピーダンスアンプ、容量型センサ用容量検出集積回路の設計を行った。さらにレイアウト設計を行いVDECに試作依頼を行った。
発表論文
論文
- Y. Matsumoto S.Kawahito and M. Ishida:モ Development and evaluation of capacitance detection ASIC for three-axis common electrode type capacitive accelerometerモ, The transaction of IEEE Japan, Vol.121-E, No.3, March, pp.135-141, (2001)
国際会議
- Y. Matsumoto, J.-E. An, M. Ishida, J.-H. Lee:モThree-axis SOI capacitive accelerometer formed by dicing methodモ,The international conference on electrical engineering 2000, (2000.7), pp.255-258.
国内学会
- Y. Matsumoto, S. Kawahito, M.Ishida:モDevelopment and evaluation of capacitance detection ASIC for three-axis capacitive accelerometerモ, Tech. Dig. of the 17th Sensor Symposium, pp.231-236, (2000). Y.Yamaguchi, F. Katsumata, M. Nishimura, Y. Matsumoto M.Ishida:モSmall and high-sensitive three axis SOI capacitive accelerometerモ, Tech. Dig. of the 17th Sensor Symposium, pp.221-224, (2000).
学位論文
修士論文
- 中園晃充 高効率POF用光トランシーバに関する研究
学士論文
- 中丸文雄 GI-POF用集光器に関する研究
- 角 篤司 シリコンマイクロマシニング技術を用いた45゜ミラーの研究
- 阿波谷佳朗 CMOS演算増幅器の研究
- 北原太介 光学部品用高反射率めっき技術に関する研究
- 鹿又 学 グレイスケールマスクを用いた３次元微細加工の研究
- 三浦淳平 CMOSトランスインピーダンスアンプに関する研究
- 青山真之 グレイスケールマスクを用いた微小光学部品製作法に関する研究
- 仲谷泰文 容量型センサ用容量検出集積回路に関する研究
進路
矢崎総業株式会社，日本アイ・ビー・エム株式会社，東洋ビジネスエンジニアリング株式会社，松下電器産業株式会社，株式会社リアルビジョン
研究助成
- 小澤・吉川記念エレクトロニクス研究助成金「SOI構造を用いた加速度センサとCMOS 検出回路の高性能化に関する研究」
- 立石科学技術振興財団「シリコン静電容量式３軸加速度センサの高感度化に関する研 究」