日本経済新聞 1999年12月20日（月）伊藤公平専任講師が露クルチャトフ原子力研と共同で同位体高純度シリコンを開発．超高速LSI材料に．
Keio University, Faculty of Science and Technology, Dept. Applied Physics and Physico-Informatics
Keio University, Faculty of Science and Technology, Dept. Applied Physics and Physico-Informatics
日本経済新聞 1999年12月20日（月）伊藤公平専任講師が露クルチャトフ原子力研と共同で同位体高純度シリコンを開発．超高速LSI材料に．