松本佳宣 年次報告
2009年度
教育
授業科目 |
[学部]
[大学院]
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指導学生数 |
[大学院] 前期博士課程 13 名 [学部] 学部生 6 名 |
指導学生の学位論文 |
[修士論文]
[学士論文]
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運営
役職 |
[塾内]
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研究
研究紹介 |
集積化センサやアナログLSI、MEMS などの微小システムを研究している。製作にはマイクロマシニング技術 やシミュレーション技術、LSI-CADなどを利用する。また、グレースケールリソグラフィ技術を用いて新しい3次元微細加工に取り組んでいる。 This laboratory focuses on the development of micro systems such as smart sensor, LSI, and MEMS devices. New devices are proposed using micromachining technology, simulation, computer aided design (CAD), and integrated circuit technology. |
論文 |
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学会発表 |
[国際]
[国内]
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社会貢献 |
[学会]
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獲得資金 |
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研究室 HP | http://www.appi.keio.ac.jp/matsumoto-lab/ |
2010年度
授業科目 |
[学部]
[大学院]
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指導学生の学位論文 |
[修士論文]
[学士論文]
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運営
役職 |
[塾内]
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研究
研究紹介 |
集積化センサやアナログLSI、MEMSなどの微小システムを研究している。製作にはマイクロマシニング技術やシミュレーション技術、LSI-CADなどを利用する。また、グレースケールリソグラフィ技術を用いて新しい3次元微細加工に取り組んでいる。 This laboratory focuses on the development of micro systems such as smart sensor, LSI, and MEMS devices. New devices are proposed using micromachining technology, simulation, computer aided design (CAD), and integrated circuit technology. |
論文 |
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社会貢献 |
[学会]
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獲得資金 |
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研究室 HP | http://www.appi.keio.ac.jp/matsumoto-lab/ |
2011年度
教育
授業科目 |
[学部]
[大学院]
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指導学生数 |
[大学院] 前期博士課程 12 名(内6名修了) [学部] 学部生 5 名(内1名卒業) |
指導学生の学位論文 |
[修士論文]
[学士論文]
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研究
研究紹介 |
集積化センサやアナログLSI、MEMSなどの微小システムを研究している。製作にはマイクロマシニング技術やシミュレーション技術、LSI-CADなどを利用する。また、グレースケールリソグラフィ技術を用いて新しい3次元微細加工に取り組んでいる。 This laboratory focuses on the development of micro systems such as smart sensor, LSI, and MEMS devices. New devices are proposed using micromachining technology, simulation, computer aided design (CAD), and integrated circuit technology. |
論文 |
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学会発表 |
[国内]
|
社会貢献 |
[学会]
|
獲得資金 |
|
研究室 HP | http://www.appi.keio.ac.jp/matsumoto-lab/ |