１．構成
専任講師
松本佳宣
修士１年
中丸文雄、角篤司、阿波谷佳朗、鹿又学、花井計、孟魯新、高山慎一郎、森涼太郎
学部４年
加藤計、桑原啓、坂井智彦、堰根哲平、竹本如洋、長谷川隆
２．研究成果
ファイバー用双方向光トランシーバの研究
送受信素子をワンチップ化した光ファイバー用新規光トランシーバの製作を目指して各種の研究開発を行った。具体的には、シリコン45°エッチング技術とスプレイコーティング技術の立ち上げと条件の最適化を行い、シリコン（１００）面を用いた４５°マイクロミラーを製作した。また、昨年試作に成功したマイクロ集光器の理論解析を行い、その集光効率がレンズを上回る事を明らかにした。さらに、マイクロ集光器とシリコン PINフォトダイオードの接合に取り組み、陽極接合技術のほか熱可塑性接着剤を利用した接合技術の確立を行った。
グレイスケールマスク技術を用いた微細加工技術の研究
インクジェットプリンタと光学縮小系を利用してグレイスケールマスクを作製して、これと感光性ガラスを用いた３次元微細加工技術を確立した。また、さらなる精度向上のために電子ビーム描画装置を用いたグレイスケールマスク作製法に取り組み、その立ち上げを行った。
CMOS集積回路の研究
東京大学大規模集積回路センター（VDEC）を利用して0.6ミクロンCMOS技術で、演算増幅器、トランスインピーダンスアンプ、容量型センサ用容量検出集積回路のシミュレーションとレイアウト設計を行いVDECに試作依頼を行った。そして、測定環境の整備を行い納入されたチップの諸特性を測定して、その結果をもとに再設計して再び試作依頼をした。
３．発表論文
Y.Yamaguchi, F. Katsumata, M. Nishimura, Y. Matsumoto M.Ishida: “Small and high-sensitive three axis SOI capacitive accelerometer”, The transaction of IEEE Japan, Vol.121-E, No.7, July, pp.362-366, (2001).
国際学会発表
Y. Matsumoto, A. Nakazono, T. Kitahara, Y. Koike,”Novel optical transceiver with compound parabolic concentrator for graded index plastic optical fiber”, The 2001 international conference on solid-state sensors and actuators,(2001.6), pp.202-205.
F. Nakamaru, Y. Matsumoto, A. Nakazono, “Novel high efficiency concentrator for optical fiber communication”, The 2001 international conference on Optical MEMS 2001, (2001.9) pp.125-126.
国内学会発表
Y. Matsumoto, A. Nakazono, Y. Koike: “High speed and high efficiency optical transceiver for graded index plastic optical fiber”, Tech. Dig. of the 18th Sensor Symposium, (2001.6), pp.161-164.
角 篤志、松本佳宣,モシリコンマイクロマシニング技術を用いた45度ミラーの研究モ, 電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会,フィジカルセンサ研究会,PHS-01-10, (2001.11), pp.45-49.
鹿又 学、松本佳宣,モグレイスケールマスクを用いたガラスの三次元微細加工技術モ,電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会,マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-01-35, (2001.11), pp.99-102.
特許
グレイスケールマスク作製法とそれを用いた３次元微細加工技術、特願2001-201852
４．学位論文
桑原 啓 高速CMOS光受信器に関する研究
坂井 智彦 ３次元構造体へのフォトリソグラフィに関する研究
堰根 哲平 スピントンネル素子用用信号処理回路に関する研究
竹本 如洋 CMOSフォトダイオードの高感度化に関する研究
長谷川 隆 超撥水表面を用いた液体搬送に関する研究
加藤 計 シリコンとガラスの接合に関する研究
５．進路
ＳＴマイクロエレクトロニクス株式会社
６．研究助成
矢崎科学技術振興記念財団一般研究助成「集積回路・マイクロマシン技術を用いたプラスチック光ファイバー用高速・高効率光トランシーバの研究」
慶応工学会「プラスチップファイバー用高速受発光システムに関する研究」