ナノメートル単位で精密制御する有機薄膜の新製法

日本工業新聞 1998年11月18日(水)白鳥世明専任講師がナノメートル単位で精密制御する有機薄膜の新製法を開発.交互吸着と水晶振動計量の組み合わせで実現.